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福建省教育厅科技项目(JB10180)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：刘伟郑森伟王伟迟岩更多>>
相关机构：闽南理工学院更多>>
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相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光加工
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇传动
  • 1篇传动机构
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇闽南理工学院

作者

  • 1篇迟岩
  • 1篇王伟
  • 1篇郑森伟
  • 1篇刘伟

传媒

  • 1篇机电技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
行星式研磨抛光机传动机构改造及试验被引量：3
2011年
针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试验,通过试验研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。试验研究结果表明:传动机构优化设计提高了行星式研磨抛光机床的精度和系统性能;在相同的加工速度下,改造前后抛光机的加工效率接近,改造后对工件加工的表面粗糙度约为改造前的1/3。该设备的改造设计对提高抛光机的加工精度有重要意义。
王伟刘伟迟岩郑森伟
关键词：传动机构抛光加工表面粗糙度
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共1页<1>
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