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国家科技型中小企业技术创新基金(06c26213100944)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：胡光伟刘泽文刘理天侯智昊李志坚更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科委项目国家科技型中小企业技术创新基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇斜拉
  • 1篇开关
  • 1篇残余应力

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇李志坚
  • 1篇侯智昊
  • 1篇刘理天
  • 1篇刘泽文
  • 1篇胡光伟

传媒

  • 1篇清华大学学报...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
具有斜拉梁的串联接触式射频微机电系统开关被引量：1
2009年
为解决悬臂梁结构的射频微机电系统开关在残余应力的作用下会发生翘曲的问题,提出在悬臂梁的顶端引入斜拉梁的方法。使用Al/Au复合桥膜作为射频微机电系统开关的上电极,实现了Au-Au接触,利用BorofloatTM玻璃作为衬底,使用电阻对导通状态下的射频信号与驱动电极旁路进行隔离,使它的射频性能不受驱动电压的影响。测试表明:隔离度在12 GHz的频率下,插入损耗和隔离度分别为-0.29 dB和-20 dB。该射频微机电系统开关适合于DC-X波段的应用。
侯智昊刘泽文胡光伟刘理天李志坚
关键词：射频微机电系统开关残余应力
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