国家高技术研究发展计划(2004AA843170)
- 作品数：3 被引量：17H指数：2
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- 非共轴掠入射X射线显微镜的设计与分析被引量：11
- 2005年
- 详细论述了掠入射非共轴反射成像的KB和KBA显微镜成像系统,根据使用要求设计了由4个反射镜组成的X射线显微镜.这是一种消像散系统,且使像面倾斜明显降低,在2 mm视场的范围内,分辨率可以达到5～7 μm.对研制过程中遇到的难题进行了分析.
- 胡家升赵玲玲李祥
- 关键词：X射线显微镜掠入射非共轴成像系统反射镜分辨率
- 掠入射X射线显微镜反射率分析
- 2006年
- X射线掠入射显微镜的反射率除了与掠入射角有关之外,还与反射表面的粗糙度密切相关.以设计的非共轴掠入射KBA X射线显微镜系统为例,讨论了掠入射下X射线从金属表面和单层膜表面反射的两种情况.分析了波长为0.83 nm时,表面均方粗糙度(RM S)对反射率的影响,并计算了该系统的X射线反射率.分析结果表明RM S增大,反射率会降低;无氧铜的反射率为0.021,单层膜的反射率为0.049,因此KBA X射线显微镜可采用镀单层膜的方法加工.
- 赵玲玲胡家升
- 关键词：掠入射表面粗糙度反射率
- 非共轴掠入射X射线显微镜参数的误差分析被引量：9
- 2006年
- 设计了一套由4个反射镜组成的非共轴掠入射X射线显微镜,分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质量的设备,需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数(反射镜的半径,物距,掠入射角等)的误差而引起的高斯参数和像差的变化。首次用点列图和调制传递函数来定量评价图像质量降低的程度,并在此基础上制定了合理的加工和装配公差。在这些公差的约束下,研制成一套非共轴掠入射X射线显微镜,在激光引爆的惯性约束聚变的诊断实验中,用该系统获得了高质量的图像。
- 赵玲玲胡家升李祥
- 关键词：X射线显微镜误差分析
