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长春市科技计划项目(262720)
作品数:
1
被引量:9
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2009
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硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜
被引量:9
2009年
由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45°。选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义。
付秀华
孙钰林
贺才美
董洁凌
关键词:
光学薄膜
红外增透膜
离子辅助沉积
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