浙江省科技计划项目(2011F20021)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：方旭叶辉洪霞李衎许坚更多>>
- 相关机构：浙江省能源与核技术应用研究院浙江大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金浙江省科技计划项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 纳米-微米复合图形化衬底及其在半导体异质外延上的应用
- 2014年
- 报道了一种新型的纳米-微米复合的蓝宝石图形化衬底,采用dip-coating的方法在微米级SiO2半球阵列表面静电自组装一层SiO2纳米球,形成了适合纳米范围选择性生长的区域。研究发现,该复合结构的制备过程与后续外延的工艺兼容。经封装后,在复合图形衬底上制造的LED芯片,其所测试的光通量比未添加SiO2纳米颗粒的微米图形衬底制造的LED光通量提高57%左右,而光输出功率则提高了17.8%。研究表明,在传统的微米图形衬底上加入SiO2纳米颗粒阵列不仅能够提供纳米级区域外延生长的模板,有效减少外延层的线位错密度,而且能够进一步粗化衬底表面,增加有源层光线逸出的几率,从而有效地提高了光提取效率。
- 郭雄彬方旭傅建新许坚叶辉
- 关键词：图形衬底提拉法光提取效率
- 基于表面等离子体共振增强的硅基锗金属-半导体-金属光电探测器的设计研究被引量：5
- 2013年
- 金属-半导体-金属光电探测器的光栅结构可激发表面等离子体,有效增强探测器的吸收.为深入研究器件结构对于表面等离子体的激发及共振增强的影响,本文提出了一种具有超薄有源层的硅基锗金属-半导体-金属光电探测器的设计方法.采用时域有限差分的方法详细分析了光栅周期、光栅厚度、光栅间距及有源层厚度对于表面等离子体共振增强器件性能的影响,通过仿真模拟获得了器件的最佳结构,详细地分析了各个界面激发的表面等离子体及其共振模式对于光谱吸收增强的机理.仿真结果表明,有源层锗的厚度为400 nm的超薄器件在通信波段具有较高的吸收,尤其在1550 nm波长处器件的归一化的光谱吸收率可以高达53.77%,增强因子达7.22倍.利用共振效应能够极大地提高高速器件的光电响应,为解决光电探测器响应度与响应速度之间的相互制约关系提供了有效途径.
- 洪霞郭雄彬方旭李衎叶辉
- 关键词：表面等离子体
