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国家创新方法工作专项(2009IM30500)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：李展平朱永法严楷曹江利严谨更多>>
相关机构：北京科技大学清华大学更多>>
发文基金：国家创新方法工作专项更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇多场耦合
  • 1篇紫外
  • 1篇紫外辐照
  • 1篇微氧
  • 1篇辐照
  • 1篇SI薄膜

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇姚文清
  • 1篇严谨
  • 1篇曹江利
  • 1篇严楷
  • 1篇朱永法
  • 1篇李展平

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
真空环境中多场耦合对Au/Cu/Si薄膜界面结构的影响被引量：2
2013年
采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明:环境温度的升高,使薄膜内缺陷增加,为Cu原子的扩散提供了更多的扩散通道;紫外辐照产生了等同的热效应,加剧了Cu原子在Au层中的扩散;微氧的存在诱导了Cu原子的扩散。三种因素协同作用下,诱导迁移扩散机制在室温下形成,并于处理温度达到100℃后趋于稳定。
严楷曹江利姚文清严谨李展平朱永法
关键词：紫外辐照微氧
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