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黑龙江省研究生创新科研项目(YJSCX2008-194HLJ)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：董峰高德林晶刘壮更多>>
相关机构：哈尔滨商业大学更多>>
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相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇透湿
  • 1篇溅射
  • 1篇SIO
  • 1篇SIOX薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇X

机构

  • 1篇哈尔滨商业大...

作者

  • 1篇刘壮
  • 1篇林晶
  • 1篇高德
  • 1篇董峰

传媒

  • 1篇包装工程

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射SiO_x薄膜的制备与阻隔性能研究被引量：3
2009年
利用磁控溅射技术,以SiO2为靶材,Ar为射频源气体,在PET基材上制备SiOx薄膜。研究了不同放电功率、氩气流量、镀膜时间等参数对SiOx薄膜阻隔性能的影响。结果表明:在一定范围内,薄膜的阻隔性能随放电功率的增大而增大,而后逐渐减小;氩气流量对薄膜的阻隔性能也有一定影响;镀膜时间在10min时SiOx薄膜的阻隔性能最好。扫描电镜SEM测试表明,在氩气流量为100cm3/min,镀膜时间10min,1500W放电功率下制备的SiOx薄膜阻隔性能较好、表面较均匀。
董峰高德林晶刘壮
关键词：磁控溅射SIOX薄膜透湿
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