中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目(Y00332H100)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 计量光栅盘真空镀铬机理与工艺研究被引量：2
- 2011年
- 在计量光栅盘的制作过程中,真空镀铬是影响计量光栅盘精度和成品率的主要工序之一。为了提高计量光栅盘的精度及成品率,对计量光栅盘真空镀铬原理及膜层形成机理进行了分析,给出了影响铬层致密性及牢固度的主要因素与铬层均匀性和蒸发距离之间的关系式,并针对其原因对相关工艺进行了改进,实验证明改进后的工艺对改善铬膜的致密性和牢固度及均匀性起到了一定的作用,使计量光栅盘的成品率提高了10%,同时也为进一步改善后续工艺提供了理论依据。
- 陈赟王晓峰李艳茹
- 关键词：致密性均匀性
- 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究
- 2013年
- 玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。
- 陈赟张红胜李艳茹
- 关键词：光刻胶
