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河北省教育厅科学技术研究计划(2006449)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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发文基金：河北省教育厅科学技术研究计划河北省科学技术研究与发展计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇硅片
  • 1篇薄层电阻
  • 1篇层电阻

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇张润利
  • 1篇刘金河
  • 1篇刘新福
  • 1篇苏双臣

传媒

  • 1篇北华航天工业...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析被引量：1
2007年
分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论。
苏双臣刘新福张润利刘金河
关键词：硅片薄层电阻
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共1页<1>
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