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上海市科委纳米专项基金(0359NM003)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：徐文东杨金涛更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇原子力显微镜
  • 1篇仪器

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇杨金涛
  • 1篇徐文东
  • 1篇徐文东

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
原子力显微镜系统中的光点跟踪设计
针尖扫描原子力显微镜有很多的优点。光点跟踪是针尖扫描原子力显微镜设计的难点。这里提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜的光点跟踪设计方案,结构简单,容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高,而且能使原子力显微镜实现较大范...
杨金涛徐文东
关键词：原子力显微镜
文献传递
针尖扫描原子力显微镜的光点跟踪设计被引量：5
2006年
提出了一种用于针尖扫描原子力显微镜(AFM)的光点跟踪设计方案,结构简单,容易实现。设计方案对扫描器的负载能力要求不高,而且能使原子力显微镜实现较大范围的针尖扫描。实验结果表明,采用此光点跟踪设计方案的针尖扫描原子力显微镜能实现最大100μm×100μm范围的扫描,z方向上的误差最大1 nm,能很好地满足大样品扫描的需要。
杨金涛徐文东
关键词：仪器原子力显微镜
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