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青海省重点企业技术创新项目(2011-JC-07)

作品数：2 被引量：11H指数：2
相关作者：刘刚秦榕王舒娅更多>>
相关机构：青海黄河上游水电开发有限责任公司中国科学院更多>>
发文基金：青海省重点企业技术创新项目更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电气工程

主题

  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇四氯化硅
  • 1篇综合利用
  • 1篇氯化
  • 1篇氯化硅
  • 1篇精馏
  • 1篇精馏工艺
  • 1篇副产物

机构

  • 2篇青海黄河上游...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇刘刚
  • 1篇王舒娅
  • 1篇秦榕

传媒

  • 2篇有色金属（冶...

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
多晶硅生产副产物四氯化硅的综合利用被引量：5
2013年
利用吉布斯自由能理论对四氯化硅合成氮化硅的化学气相沉积体系中可能发生的化学反应进行热力学分析。结果表明,在1 500K以上反应时,可以得到较高纯度的氮化硅。对多晶硅生产中四氯化硅的来源和主要杂质情况进行了比较,得出的四氯化硅综合利用方式是:将SiCl4(Ⅰ)通入精馏工艺的四氯化硅提纯塔分离三氯化磷后,再与SiCl4(Ⅱ)及SiCl4(Ⅲ)一起进入氮化硅合成炉。
刘刚
关键词：四氯化硅氮化硅多晶硅综合利用
改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进被引量：6
2013年
改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。
刘刚秦榕刘生章王舒娅
关键词：多晶硅精馏
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