黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11541079)
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
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- 相关机构：哈尔滨商业大学哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目“十一五”国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术经济管理更多>>
- 氩氢体积比对磁控溅射制备Al_xO_y/PET阻隔膜的影响被引量：3
- 2010年
- 采用直流电源,以纯铝为靶,氧气为反应气体,高纯氩气为溅射气体磁控溅射在PET基底上制备高阻隔性AlxOy/PET包装薄膜,并研究不同氩氢体积比对AlxOy薄膜形貌、成分、结构的影响,讨论了镀AlxOy膜后DET力学性能与阻隔性能的变化。FTIR与XPS研究分析表明,反应氧气量直接影响AlxOy薄膜的化学结构,薄膜的红外光谱的峰值、强度和带宽等变化规律均与氧气量有关,并且AlxOy中氧原子的含量越高,Al—O伸缩振动峰的波数越高。测量薄膜的阻隔性与力学性能显示,AlxOy膜化学成分越接近于Al2O3时阻隔性能越好,且薄膜横向、纵向弹性模量及屈服强度越大。此外,镀AlxOy薄膜单向拉伸力学特征有明显变化,其应力-应变曲线有2个明显的拐点。
- 刘壮林晶孙智慧
- 关键词：磁控溅射
- 溅射气氛中O_2/Ar体积比对Al_xO_y薄膜结构及性能的影响被引量：1
- 2010年
- 为了研制高阻隔性和适合微波加热的包装材料,在PET基底上采用射频电源,以纯Al为靶,氧气为反应气体,高纯氩气为等离子体,磁控溅射AlxOy/PET包装薄膜。红外光谱(IR)分析表明,氧化铝IR谱的峰值、强度和带宽等规律性的变化与通入的氧气量有关。XPS研究发现,Al-O伸缩振动峰的波数越高,AlxOy中氧原子的含量越高。薄膜的阻隔性测试结果表明,AlxOy膜的y值越大,其阻隔性能越好。
- 林晶孙智慧刘壮
- 关键词：磁控溅射
- 纸张表面射频磁控溅射SiOx薄膜的研究被引量：1
- 2010年
- 氧化硅薄膜因其优异的阻隔、电学、光学以及环境友好性能而广泛应用于各种工业场合。可以在多种衬底上制备硅氧化物,常见的如硅、玻璃和聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。然而,目前所见报端的文献很少有以纸张为基材的。本文即研究在纸张表面射频磁控溅射沉积氧化硅薄膜,讨论沉积氧化硅薄膜射频功率密度、沉积时间等工艺参数对沉积速率,薄膜表面粗糙度、薄膜机械性能、薄膜的阻隔性能的影响。利用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,结果表明,沉积氧化硅薄膜后表面更加均匀且平滑。沉积氧化硅薄膜后纸张的横向,纵向弹性模量和拉伸强度明显增加。在射频功率密度2.78 W/cm^2、氩气流量40 sccm、沉积时间为36min的制备参数下所沉积的薄膜对水蒸气的阻隔提高了15倍。此外,本文还研究了沉积氧化硅薄膜后纸张的色彩再现印刷适性。
- 刘壮孙智慧马新欣林晶
- 关键词：氧化硅磁控溅射纸张粗糙度印刷适性
- 气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响被引量：4
- 2009年
- 采用直流电源磁控溅射的方法在20μmPET表面沉积氧化铝薄膜,用红外光谱对薄膜成份进行了分析,用MOCON薄膜阻隔性能测试设备对薄膜的透氧率、透湿率进行了测试。结果表明:薄膜上Al-O的峰值强度变化与O2和Ar气流量有关,当O2和Ar气流量分别为9和105mL/min时:Al-O波峰强度最大;制备高阻隔氧化铝薄膜的透明度最佳;所得氧化铝薄膜透氧率比原膜降低15倍,透湿率降低5倍。
- 孙智慧智慧刘壮林晶
- 关键词：氧化铝薄膜磁控溅射透氧率
