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中央高校基本科研业务费专项资金(YWF-11-02-044)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
张秀艳
钱建强
董全林
崔永俊
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中央高校基本科研业务费专项资金
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张秀艳
传媒
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真空
年份
1篇
2012
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场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制
被引量:1
2012年
真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换,通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试,能够达到预定的真空度要求。
崔永俊
董全林
张秀艳
钱建强
关键词:
PLC控制
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