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中央高校基本科研业务费专项资金(2012070)
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宋化雨
杨奕凡
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中国地质大学(北京)
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中央高校基本科研业务费专项资金
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金属诱导低温制备多晶硅薄膜工艺新进展
2013年
多晶硅薄膜由于兼具稳定性、高光敏性、便于大面积沉积等优势成为目前光伏领域的研究热点。本文综述了近几年金属诱导非晶硅薄膜晶化的新工艺,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构、金属含量的调控规律。最后展望了未来的发展趋势。
杨奕凡
李亚莉
宋化雨
郝会颖
邢杰
董敬敬
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金属诱导晶化
非晶硅
多晶硅薄膜
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