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中国博士后科学基金(2011M500544)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：刘俊薛慧郭浩丁宇凯张斌珍更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电耦合
  • 1篇偏压
  • 1篇力电耦合
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇感器
  • 1篇RTD
  • 1篇MEMS传感...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇唐军
  • 1篇张斌珍
  • 1篇丁宇凯
  • 1篇郭浩
  • 1篇薛慧
  • 1篇刘俊

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化
2012年
首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的"台阶区",提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同时也通过增大RTD结构的台面积大小,有效的消除了负阻区的"台阶区",并使其负阻区的阻值增大为-0.06Ω,提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度。
郭浩唐军张斌珍刘俊薛慧丁宇凯
关键词：RTD力电耦合
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共1页<1>
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