安徽省高校省级自然科学研究项目(2006KJ050B)
- 作品数：3 被引量：3H指数：2
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- 数字掩模制作控制系统误差特性研究
- 2007年
- 数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜。文中系统分析了数字微镜控制系统对数字化掩模制作系统精度的影响。指出误差来源主要为数字微镜帧刷新率、像素黑栅效应、像素量化和调制非线性等因素,并分别提出了相应的误差修正或补偿方法。提高系统的精缩倍数、像素分辨率以及占空比,可以降低这些误差来源的影响。
- 陈劲松
- 关键词：数字微镜衍射光学元件掩模误差分析
- 用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术被引量：2
- 2006年
- 提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证。
- 陈劲松
- 关键词：数字微镜数字掩模衍射光学元件空间光调制器
- 数字掩模技术被引量：2
- 2006年
- 数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出。结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印。为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证。由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2μm最小线宽的制作。利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜。
- 陈劲松
- 关键词：数字微镜数字掩模衍射光学元件空间光调制器
