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博士科研启动基金(20030358018)
作品数:
1
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相关作者:
文莉
赵钢
许晓慧
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文莉
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2006
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一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究(英文)
2006年
通过测量压电悬臂梁的等效电容来检测悬臂梁的振动信息,以应用于基于扫描探针技术的高密度信息存储中进行数据读取.在压电悬臂梁的PZT压电层上施加交流电场使其工作在共振状态,并使其自由端与存储介质进行周期性的接触.当悬臂梁的自由端扫描到数据点时,其自由端的振幅和所受到的外力将发生变化,进而引起PZT压电层的介电常数发生变化.因此,通过检测悬臂梁上压电层的等效电容变化,便可以得到悬臂梁的振幅改变量,从而实现了对存储介质上数据的读取.实验结果表明,该可以实现1nm的位移检测分辨率.
许晓慧
赵钢
文莉
吴亚雷
褚家如
关键词:
PZT
悬臂梁
电容检测
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