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内蒙古自治区高等学校科学研究项目(NJ09002)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：李丽丽韩磊丁铁柱何杰更多>>
相关机构：内蒙古大学更多>>
发文基金：内蒙古自治区自然科学基金内蒙古自治区高等学校科学研究项目更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇热处理温度
  • 1篇PLD
  • 1篇CIGS薄膜
  • 1篇X

机构

  • 1篇内蒙古大学

作者

  • 1篇何杰
  • 1篇丁铁柱
  • 1篇韩磊
  • 1篇李丽丽

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光溅射沉积后硒化制备CIGS薄膜被引量：1
2011年
采用脉冲激光溅射沉积法(PLD)制备了Cu-In-Ga双层预制膜,通过固态源硒化后热处理的方法获得了CuIn1-xGaxSe2(CIGS)薄膜,研究制备预制膜的工艺参数以及热处理温度对CIGS薄膜特性的影响。采用台阶仪、SEM、EDS、XRD和紫外分光光度计研究了薄膜的厚度、表面形貌、成分、物相结构以及光学带隙。得到了制备具有较好光学性能CIGS薄膜的优化条件为:Cu、In、Ga的原子含量比为nCu/(nIn+nGa)=0.98,nGa/(nIn+nGa)=0.28,硒化温度250℃,硒化时间60min,热处理温度为550℃,在此优化条件下得到的薄膜光学带隙为1.43eV,XRD表明CIGS薄膜是单一黄铜矿薄膜。
李丽丽丁铁柱何杰韩磊
关键词：PLD热处理温度
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