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黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11541266)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：莫兵刘红梅田丽王璐温殿忠更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇硅
  • 1篇MEMS
  • 1篇MOSFET

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇温殿忠
  • 1篇王璐
  • 1篇田丽
  • 1篇刘红梅
  • 1篇莫兵

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用MEMS技术研制硅脉象传感器被引量：3
2010年
利用MEMS技术在N型<100>晶向的单晶硅衬底上设计并制作了以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的P-MOSFETs脉象传感器。在方形硅膜上制作四个以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极P-MOSFETs,并将P-MOSFETs的沟道电阻设计成惠斯通电桥结构,从而实现对微小脉象信号的准确检测。实验结果表明,该硅脉象传感器在恒压源-3.0V供电条件下,灵敏度为1.623mV/kPa,准确度为2.029%F.S。
王璐温殿忠刘红梅田丽莫兵
关键词：MEMSMOSFET
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