中国工程物理研究院科学技术发展基金(2010A0302013)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：熊艳丽屈明山袁明权张茜梅周振凯更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
- 2013年
- 设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
- 袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
- 关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
- ZnO/Diamond/Si结构中声表面波传播特性分析被引量：3
- 2013年
- 基于递归刚度矩阵方法,建立了多层结构声表面波表面有效介电常数模型,计算出了ZnO/Si结构声表面波的相速度频散特性,与实验结果符合较好,表明本文所建模型的准确性和有效性.进一步计算得到了三层结构(ZnO/Diamond/Si)声表面波的相速度和机电耦合系数的频散规律,获得此结构最优的高波速和高机电耦合系数组合及达到最优组合所需控制的变量,为高频高性能声表面波器件设计和优化提供了有益参考.
- 周振凯韦利明丰杰
- 关键词：声表面波
