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安徽省重点科研计划项目(07020203009)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性质
  • 1篇表面形貌
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇合肥师范学院

作者

  • 1篇戴结林

传媒

  • 1篇硅酸盐通报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
不同退火温度In掺杂ZnO薄膜的表面形貌和光学性质
2010年
用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光光度计观察4%(原子分数)In掺杂ZnO薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。微结构分析表明:薄膜仍为六角纤锌矿结构,由于In杂质的掺入,使得薄膜结晶度劣化,退火温度对薄膜微结构影响较小;表面形貌观察结果显示:薄膜表面凹凸不平,450℃退火处理薄膜表面最平坦,尺寸在50～100nm之间小颗粒致密、均匀地分布于起伏的表面;紫外可见透射谱研究结果表明:随着退火温度升高,薄膜光学带宽Eg由3.267eV减小到3.197eV,该结果可能与薄膜表面残余应力发生变化密切相关。
戴结林
关键词：ZNO薄膜退火温度光学性质
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