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国家自然科学基金(5053503050730009)

作品数：1 被引量：8H指数：1
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相关机构：中北大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇微器件
  • 1篇光程
  • 1篇光程差
  • 1篇白光干涉
  • 1篇测量技术

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇丑修建
  • 1篇牛康康
  • 1篇刘毅
  • 1篇刘君
  • 1篇李秋柱

传媒

  • 1篇测试技术学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构被引量：8
2009年
垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率为0.05μm.
李秋柱刘毅牛康康刘君丑修建
关键词：微器件白光干涉
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