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哈尔滨市科技创新人才研究专项资金项目(2011RFXXG018)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：张莉肖玮林晶朱琳孙智慧更多>>
相关机构：哈尔滨商业大学更多>>
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相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇卷绕
  • 1篇溅射
  • 1篇SIMULI...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇哈尔滨商业大...

作者

  • 1篇智慧
  • 1篇董文丽
  • 1篇孙智慧
  • 1篇朱琳
  • 1篇林晶
  • 1篇肖玮
  • 1篇张莉

传媒

  • 1篇包装工程

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
卷绕式磁控溅射镀膜机张力控制系统分析与优化被引量：4
2013年
为避免卷绕式磁控溅射镀膜过程中张力引起的薄膜缺陷,以及原有张力系统响应速度慢、稳定性差等不足,对张力系统进行了分析与优化。通过分析确定了影响张力的关键因素是收(放)卷的速度和卷径变化,建立了张力系统动力学模型,采用simulink对张力控制系统进行仿真分析,利用实验验证的方法,分别在原设备和改造后的设备上制备Al2O3薄膜,并对比其SEM图像。改造后的系统可在0.65 s内实现薄膜张力实时调整,而原系统需要8 s。改造后的系统能够保证镀制过程中的张力恒定,膜层致密均匀、卷材层间无空隙和皱纹。
孙智慧肖玮林晶智慧张莉董文丽朱琳
关键词：磁控溅射镀膜卷绕SIMULINK
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