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国家自然科学基金(60907025)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：杨柳胡国华崔一平恽斌峰更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇退火
  • 1篇钛酸铅
  • 1篇锆钛酸铅
  • 1篇锆钛酸铅镧
  • 1篇快速退火
  • 1篇集成光学
  • 1篇集成光学器件
  • 1篇光学
  • 1篇光学器件
  • 1篇PLZT

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇恽斌峰
  • 1篇崔一平
  • 1篇胡国华
  • 1篇杨柳

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
集成光学器件的PLZT薄膜溶胶-凝胶法制备与性能研究被引量：1
2013年
在掺铌钛酸锶（NST）的衬底上，通过加入抑制开裂剂聚乙二醇对异辛基苯基醚（triton X-100），利用溶胶-凝胶法制备了厚达4．6μm的锆钛酸铅镧（PLZT）薄膜，从而有效地减小了其在集成光学器件应用中的传输损耗。实验分析了triton X-100的加入量对薄膜质量的影响，并通过优化triton X-100的加入量可有效抑制薄膜开裂。利用光学显微镜、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、棱镜耦合波导测试仪和台阶仪等对制备的薄膜性能进行分析。结果表明，经过650℃快速退火处理后，得到了表面平整度小于30nm、粒径为50～100mm的钙钛矿结构PLZT薄膜，测得PLZT（8／65／35）和PLZT（11／65／35）薄膜在1550nm波长处的折射率分别为2．4029和2．3885。本文方法制备的薄膜可以用于PLZT电光器件的制作。
杨柳胡国华恽斌峰章丽昕崔一平
关键词：溶胶-凝胶法快速退火
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