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双自转研磨沟槽结构参数对球体研磨均匀性的影响分析被引量：2: 2013年; 基于多体动力学分析软件ADAMS建立了双自转研磨方式下的球体运动数值仿真模型,给出了研磨轨迹点分布均匀性(研磨均匀性)的评价方法,仿真分析了研磨盘沟槽半径和沟槽角度对研磨均匀性的影响,并通过试验验证了仿真结果的正确性。; 郁炜吕冰海李兴林袁巨龙姚蔚峰; 关键词：滚动轴承研磨 ADAMS

精密球偏心研磨加工参数仿真优化: 2013年; 利用虚拟仿真优化技术,改善球体表面研磨轨迹的均匀性,提高精密球研磨加工的质量和精密度。通过建立球体运动的几何关系,利用虚拟样机技术,基于Adams软件建立偏心研磨机构的三维实体模型,经单因素仿真实验,逐一揭示研磨机构中研磨盘转速组合、沟槽角度组合以及偏心距对球体公转角速度、自转角速度、自转角、方位角等运动状态参数的影响程度。根据仿真结果,选择一组较佳的偏心研磨机构加工参数组合,对精密球研磨轨迹进行虚拟仿真测试。测试结果表明,优化后球体表面研磨轨迹的全包络线较好地体现精密球等概率切削的加工特性。; 陆勇星朱凌宏

化学机械抛光技术概述: 化学机械抛光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)技术有着悠久的历史,由于这项技术可用于硅集成电路(SiIC)以及各种高性能和特殊用途的集成电路制造中,现已引起了人们广泛的研究兴趣.本文通过查...; 常敏袁巨龙楼飞燕王志伟; 关键词：化学机械抛光超精密加工集成电路

精密球新型研磨方式的仿真研究被引量：4: 2005年; 在精密球偏心V形槽研磨方式的基础上,提出一种新的研磨方式。运动分析结果表明,与偏心V形槽和传统V形槽研磨方式不同,该研磨方式下球坯的自转轴能够在180°范围内摆动,使研磨轨迹在球坯表面的分布更为均匀。通过仿真计算发现,在该研磨方式下偏心距对球坯表面研磨均匀性影响较小,并且,各槽内球坯所受研磨均匀性相同。; 赵萍邓乾发王志伟吕冰海袁巨龙

硬质材料球体新型研磨方式下的工艺优化试验研究被引量：2: 2008年; 氮化硅先进陶瓷等硬质材料的球体具有密度小、硬度高、弹性模量高(刚度高)、耐磨损、热膨胀系数低等一系列金属材料没有的优点,被认为是高速、高精度轴承滚动体的最佳材料,但传统的V形槽陶瓷球研磨方式制约着其进一步应用。本文以材料去除率、表面粗糙度和球形误差为评价目标,通过试验研究与数据分析,描述新型研磨方式下,硬质材料球体研磨工艺参数对材料去除率、球度及表面粗糙度的影响,以获得较优的研磨工艺参数,为实际生产中工艺过程的优化提供了一种有效可行的方法。; 许秦袁巨龙周兆忠吕冰海; 关键词：田口方法

陶瓷球双自转盘研磨方式下研磨均匀性的研究被引量：11: 2006年; 对陶瓷球在双自转研磨盘研磨方式下的研磨均匀性进行仿真分析,表明研磨均匀性不仅取决于自旋角θ变化范围,而且取决于θ角的变化过程和球的自转角速度ωb的变化。对研磨均匀性来说,转速比函数幅值影响较大,相位的影响是很小,可以忽略。当内外下盘转速之比从0到2倍的进行连续周期变化时,可以得到较好的研磨均匀性,变化过程任意。; 陶宝春王志伟吕冰海黄建平何雪华袁巨龙; 关键词：陶瓷球

基于ADAMS的球体双自转研磨方式下研磨盘转速优化研究被引量：7: 2013年; 双自转研磨是一种获得高一致性精密球体的有效加工方法。为进一步提高双自转研磨方式下球面研磨轨迹的均匀性(研磨均匀性),以提高球体加工球度及批一致性,建立了基于ADAMS的双自转研磨方式下球体运动仿真模型,分析了下研磨盘内外盘转速曲线对盘与球接触点(研磨轨迹点)分布的影响,对研磨盘转速曲线组合进行了优化,得到了"双梯形-三角波"研磨盘转速曲线组合。在此转速条件下,球面研磨轨迹均匀性的标准差S大幅减小(从1.4409μm减小到0.9748μm)。实验结果也表明:在相同实验条件下,同一批次的G28毛坯球(最大球形误差0.7μm),经3h研磨,采用双梯形-三角波转速曲线比"三角波"转速曲线的球形误差降低0.168 72μm(从0.388 04μm减小到0.219 32μm);同一批次的G10球(最大球形误差0.25μm),经相同条件和时间研磨抛光,采用双梯形-三角波转速曲线比三角波转速曲线的球形误差减小0.0308μm(从0.103 64μm减小到0.072 78μm),实验结果与仿真结果均证明了转速曲线的优化效果。; 郁炜吕冰海姚蔚峰袁巨龙; 关键词：数值仿真

基于ATmega128的高效精密球体研磨机控制系统被引量：3: 2009年; 为了实现硬质合金球的精密加工,采用ATmega128嵌入式微处理器,完成了双转盘精密球体研磨机批量加工控制系统的硬件设计;针对新型的成球运动方式的两个主要参数(转速与压力)进行了精确的控制;采用专家数据控制系统,有效地排除了人工操作的不稳定性,进而保证了批量加工精度和质量的高一致性。实践结果证明,使用该控制方法,取得了良好的控制效果,且实现了产品化。; 贾玉坤胡克佳王华东陈硕赵文宏袁巨龙; 关键词：研磨机 ATMEGA128 控制系统

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国家自然科学基金(50375147)