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湛江师范学院科学研究基金(L0503)

作品数：2 被引量：2H指数：1
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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇离子注入
  • 2篇ZNO薄膜
  • 1篇氧化锌
  • 1篇热稳定
  • 1篇热稳定性
  • 1篇热稳定性研究
  • 1篇注氮
  • 1篇XRD
  • 1篇ZNO
  • 1篇掺杂

机构

  • 2篇湛江师范学院

作者

  • 2篇莫东
  • 2篇薛书文
  • 2篇肖世发
  • 2篇黄子康
  • 2篇梅芳

传媒

  • 1篇湛江师范学院...
  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
ZnO薄膜离子注入改性的研究进展被引量：2
2009年
ZnO是一种在短波长光电器件领域有巨大应用价值的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,离子注入是常用的半导体掺杂技术,文章综述了国内外近年来离子注入技术在ZnO的n、p型掺杂等方面的研究进展。
薛书文梅芳肖世发黄子康莫东
关键词：氧化锌离子注入掺杂
注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究
2008年
利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO:Mg薄膜,将能量56 keV、剂量1×1017ions/cm2的N离子注入到薄膜中.离子注入后,将样品在500-900℃的氮气中退火,利用X射线衍射(XRD)和光吸收研究了薄膜中缺陷的恢复过程.结果显示,离子注入层在600-900℃的退火过程中分解和蒸发现象明显,这个结果对利用离子注入技术制备p型ZnO有很重要的意义.
薛书文梅芳肖世发莫东黄子康
关键词：ZNO薄膜离子注入XRD
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共1页<1>
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