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国家自然科学基金(606708016)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：戴一帆丁凌艳陈善勇更多>>
相关机构：国防科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇子孔径
  • 1篇子孔径拼接

机构

  • 1篇国防科学技术...

作者

  • 1篇陈善勇
  • 1篇丁凌艳
  • 1篇戴一帆

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
平面子孔径拼接测量研究被引量：11
2008年
通过椭圆形(长轴为225 mm,短轴为161 mm)SiC平面反射镜的全口径面形加工测量实验,验证了一种新的子孔径拼接测量算法—子孔径拼接迭代算法(SASL算法)的有效性。用100 mm口径平面平晶的子孔径拼接测量与全口径测量的对比实验,确定了拼接测量相关参数及测量装置的精度指标。在此基础上设计了SiC平面反射镜的子孔径拼接实验,在搭建的拼接装置上实现了5次离子束迭代加工过程和最终的全口径面形测量。加工过程中的测量结果为面形误差修正提供了准确的数据,保证了最终全口径面形误差RMS快速收敛到50 nm。实验证明,SASL算法能大大放宽拼接装置对对准运动的精度要求,并能减少拼接过程对拼接结果的影响。
丁凌艳戴一帆陈善勇
关键词：子孔径
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共1页<1>
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