国家自然科学基金(40674098)
- 作品数：4 被引量：34H指数：3
- 相关作者：巩岩张巍赵阳李顺更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信天文地球更多>>
- 极紫外太阳望远镜成像质量检测系统设计被引量：8
- 2006年
- 为了在实验室模拟空间环境，检测极紫外太阳望远镜成像质量，提出了由激光等离子光源、Newton型准直光管系统、背照射CCD相机、真空系统等组成的工作波段为17-30nm的极紫外准直光管检测系统，给出了详细的物理分析、光学设计和真空系统设计方法和结果。真空实验测试结果表明，系统在80min内，真空度即可达到5×10^-4Pa的设计指标，满足极紫外波段检测太阳望远镜的要求。
- 巩岩
- 关键词：系统设计
- 掠入射光学系统设计被引量：3
- 2009年
- 介绍了经典Wolter Ⅰ型掠入射成像光学系统的基本结构,推导了由系统的口径和焦距表示的掠入射系统的参数方程组。通过此方程组可得到掠入射光学系统详细的初始设计参数。此外,针对掠入射系统不能直接使用常规商业光学设计软件进行优化的问题,以Zemax软件为例,介绍了怎样利用其宏语言构造优化函数用于掠入射系统的分析和优化。并且进行了一组实例的设计和优化,优化后系统由经典Wolter Ⅰ型的抛物面-双曲面结构变为具有相同口径和焦距的双曲面-双曲面结构。最后,对上述两种掠入射系统的成像性能进行了对比分析。分析结果表明,双曲面-双曲面的结构提高了掠入射系统大视场的分辨率,能够满足对太阳进行全日面高分辨率观测的要求。
- 李顺巩岩
- 关键词：光学设计ZEMAXX射线光学
- 折反射式连续变倍扩束系统的设计被引量：5
- 2010年
- 为了用同一台仪器获得不同口径的激光准直光束,设计了一个连续变倍激光扩束系统,系统扩束比可在55-155之间连续变化,可以得到比传统扩束系统更大的激光光斑,满足对大口径激光束应用的要求。该系统由两级扩束子系统构成,一级折射式无焦变倍扩束系统实现激光光束口径连续变化,变焦系统选用仅有4片透镜的三组元结构,并采用＂正-负-正＂的形式,有利于减小系统整体结构尺寸。考虑到可能产生的热形变,对入射光斑较小的变倍移动组的材料进行了分析选择。二级折反射系统实现激光束的高倍率扩束,由球面反射镜取代离轴抛物面镜,用一片弯月透镜补偿像差。由于单透镜折射元件对系统性能影响很大,对其结构形式和材料进行了分析,确定了透镜的厚度与材料。应用光学设计软件CODEV给出了系统的优化设计,设计结果显示该系统像差得到了很好地校正,成像质量达到衍射极限。最后用Lighttools软件进行三维建模分析,系统准直度与理论设计值相符。
- 赵阳巩岩
- 关键词：变焦系统光学设计
- 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计被引量：20
- 2008年
- 离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。
- 张巍巩岩
- 关键词：衍射光学元件投影光刻分辨率增强照明光束整形
