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博士科研启动基金(X0002013200901)
作品数:
1
被引量:4
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相关作者:
邓军
韩军
李建军
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邢艳辉
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2010
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p型GaN低温粗化提高发光二极管特性
被引量:4
2010年
利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上低温生长GaN:Mg薄膜,对不同源流量的GaN:Mg材料特性进行优化研究.研究表明二茂镁(CP2Mg)和三甲基镓(TMGa)物质的量比([CP2Mg]/[TMGa])在1.4×10-3—2.5×10-3范围内,随[CP2Mg]/[TMGa]增加,晶体质量提高,空穴浓度线性增加.当[CP2Mg]/[TMGa]为2.5×10-3时获得空穴浓度与在较高温度生长获得的空穴浓度相当,且薄膜表面较粗糙.采用[CP2Mg]/[TMGa]为2.5×10-3的p型GaN层制备的发光二极管,在注入电流为20mA时,输出光强提高了17.2%.
邢艳辉
韩军
邓军
李建军
徐晨
沈光地
关键词:
金属有机物化学气相沉积
原子力显微镜
X射线双晶衍射
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