北京市教委科技发展计划(kz200610772019)
- 作品数:2 被引量:5H指数:1
- 相关作者:李邓化许晓飞许晓飞更多>>
- 相关机构:北京信息科技大学北京信息工程学院更多>>
- 发文基金:北京市教委科技发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
- MEMS钹式压电复合换能器的设计与仿真被引量:4
- 2008年
- 在专业MEMS CAD软件ANSYS和Intellisuite中创建MEMS钹式压电复合换能器的实体模型,通过施加载荷分析钹式换能器在MEMS技术尺寸范围内的性能,包括模拟分析MEMS钹式压电复合换能器的力与位移的性能关系以及等效压电常数d33e与MEMS钹式压电复合换能器形状参数的性能关系,仿真结果验证了所设计模型的有效性。设计了MEMS钹式压电复合换能器的工艺流程,在Intellisuite软件中给出相应结构物理模拟参数,工艺仿真结果验证了设计工艺理论上的可行性。
- 许晓飞李邓化
- 关键词:压电复合MEMSANSYS软件
- 等静压压电常数测试中电荷信号的峰值检测被引量:1
- 2006年
- 研究了压电换能器等静压压电常数测试系统的检测原理,阐述了等静压压电常数测试系统中电荷信号峰值检测的实现方法;应用PKD01设计了电荷信号峰值检测保持器,设计了峰值检测的实际应用电路,用实验数据进行了可行性验证。结果表明,该系统实际测试的等静压压电常数gh值与换能器的理论值相近,提高了其测量精确度。
- 许晓飞李邓化