河北省自然科学基金(502121)
- 作品数：9 被引量：11H指数：2
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- 氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度被引量：3
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2 混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同CH4浓度下基片表面上电子平均温度与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种对EACVD中电子平均温度进行实时监测的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。
- 尚勇董丽芳王志军
- 关键词：EACVD平均温度氢原子电子激发CH4非弹性
- 电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
- 2008年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性。结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小;当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大。
- 王志军董丽芳李盼来尚勇
- 关键词：金刚石蒙特卡罗模拟发射光谱
- 电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件被引量：2
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟。研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。
- 董丽芳尚勇王志军
- 关键词：金刚石薄膜化学气相沉积
- N_2介质阻挡放电中有效电场的光谱测定被引量：1
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,模拟了N2非平衡态直流放电等离子体过程。计算了不同E/N条件下电子在氮气中的漂移速度,结果与实验数据符合得很好。模拟了电子激发态粒子数随E/N的变化关系。提出在介质阻挡放电研究和应用中,通过监测两条紫外谱线145和201 nm强度之比来监测有效电场的方法。
- 董丽芳殷燕董建明
- 关键词：介质阻挡放电等离子体蒙特卡罗模拟
- 蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响被引量：1
- 2005年
- 本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1～5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.
- 尚勇董丽芳马博琴王志军
- 关键词：金刚石薄膜甲烷
- EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量被引量：2
- 2002年
- 采用蒙特卡罗方法 ,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法 ,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量 ,进而可以有效地控制工艺条件 。
- 董丽芳张玉红
- 关键词：EACVD化学气相沉积金刚石薄膜蒙特卡罗模拟
- 氢原子谱线与高质量金刚石薄膜被引量：2
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,对以CH4 H_2 混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H_2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括H_α,H_β,H_γ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH_4 的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、分解激发(包括H_α,H_β,H_γ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同实验条件下产生的H ,CH_3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。
- 尚勇董丽芳王志军
- 关键词：化学气相沉积
- EACVD中的H_α谱线与最佳生长条件被引量：1
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程。考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同实验条件下产生的H,CH3的数目与Hδ谱线强度的关系,给出了一种通过Hα谱线来推断生长金刚石薄膜的最佳实验条件的方法。
- 董丽芳王志军尚勇
- 关键词：化学气相沉积
- 电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的蒙特卡罗模拟被引量：5
- 2005年
- 采用蒙特卡罗方法 ,对源料气体为CH4 H2 混合气的电子助进化学气相沉积 (EACVD)中的氢原子 (H)、碳原子(C)以及CH基团的发射过程进行了模拟 .研究了CH4 浓度、反应室气压和衬底偏压等工艺参数对发射光谱及成膜的影响 .研究发现 ,CH基团可能是有利于金刚石薄膜生长的活性基团 ,而碳原子不是 ;偏压的升高可提高电子平均温度及衬底表面附近氢原子的相对浓度 ;通过氢原子谱线可测定电子平均温度并找到最佳成膜实验条件 .该结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均温度 ,有效控制工艺条件 ,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要的意义 .
- 王志军董丽芳尚勇
- 关键词：金刚石薄膜EACVD发射光谱膜过程活性基团
