国家自然科学基金(50675184)
- 作品数：16 被引量：56H指数：4
- 相关作者：孙道恒王凌云郑高峰席文明李文望更多>>
- 相关机构：厦门大学厦门理工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”福建省科技计划重点项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信理学更多>>
- 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
- 曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
- 关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
- 机器人视觉伺服控制中的自标定方法研究被引量：1
- 2009年
- 利用误差矩阵方法对系统进行标定,虽然该标定不能完全消除系统坐标系间的误差,但与未标定坐标系间误差相比,精度有了很大的提高。在系统标定后,可以用基于位置的视觉跟踪方法对特征点进行跟踪,提高系统的速度。该方法的最大优点,是标定过程简单、精度高。实验结果表明,在光学系统畸变影响下,一次标定可以将误差控制在3个像素范围内。
- 许群姚胜强王媛媛席文明
- 关键词：视觉跟踪
- 电纺不同直径纳米纤维薄膜的空气过滤性能被引量：7
- 2008年
- 使用静电纺丝的方法,制造出不同直径的纳米纤维薄膜,在低风速下进行空气过滤实验,建立初步分析模型,分析了纤维直径和过滤性能间的关系。实验表明,纳米纤维的直径和过滤效率并不是正比关系,而是在某个纤径尺寸范围存在这一个最优值。对于PM10颗粒,纤维直径分布在400-600nm范围内的纳米纤维薄膜的过滤效果较好。分析模型的建立将促进纳米纤维薄膜空气过滤研究。
- 王晗郑高峰孙道恒
- 关键词：电纺纳米纤维
- 场发射真空传感器被引量：2
- 2008年
- 场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%。该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力。
- 文尉任王凌云孙道恒
- 关键词：场发射
- 磁悬浮微装配系统理论模型及实现技术被引量：1
- 2007年
- 针对现有微装配系统存在的问题,给出了一种新的理论模型;将微产品装配离散化,便于建立标准化、模块化的实用微装配系统.该模型为灵巧加工及CIMS微系统打下了基础.利用磁悬浮平台代替粗/细运动平台传送装配子单元;同时,也利用它作为微装配平台,在一个运动平台实现了粗/细运动;没有导线与运动平台相连,实现了平台的长距离运动.巧妙地利用平台运动实现线激光对微装配环境的扫描,获取微装配环境的三维信息.将全局/局部视觉系统分离,增加了操作空间.采用两种模型对磁悬浮系统进行控制,满足了粗/细运动精度.采用该理论模型可以简化系统的结构,提高装配效率.
- 叶军君席文明姚斌孙道恒
- 关键词：磁悬浮微装配三维模型
- 新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备
- 2009年
- 介绍了一种新型微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备,该陀螺仪采用平行梳齿驱动和面外振动框架的方式分别作为质量块的振动和恒隧道电流的检测,对平行梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计进行了详细的阐述.由于采用了硅玻键合和DRIE的DDSOG体硅制备工艺,因而可以获得较大的敏感质量块,从而使得该陀螺仪具有较高的灵敏度.根据检测模态和驱动模态匹配的原则,利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化.仿真结果表明,该陀螺仪在常压下具有0.07 nm(°/s)的灵敏度.
- 李文望孙道恒王凌云
- 关键词：隧道效应陀螺
- 细胞注射显微系统的空间精确定位方法被引量：3
- 2007年
- 利用改进的激光三角测量法获得图像采集时丢失的高度信息,其相对误差小于0.4%,将该信息集成到伺服控制方程中就可以利用视觉信息来控制机械手在空间做三维运动.在图像空间控制机械手运动时,利用光学流方法获得每个采样周期后注射针在图像空间的位置,就可以消除系统存在的误差,使注射针沿预定的轨迹运动,完成细胞的注射.实验结果表明,利用该方法可以将轨迹误差从(11,10)像素,减小为(0,2)像素,从而方便地控制机械手在三维空间做精确定位和运动.
- 席文明钟辉郭阿全孙道恒
- 关键词：伺服控制
- 振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺
- 2008年
- 振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50μm,提出硅正面刻蚀—玻璃上电极制作—硅玻键合—硅背面减薄—硅背面刻蚀的DDSOG(DeepDrySiliconOnGlass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备。本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器。
- 王凌云孙道恒刘益芳
- 关键词：微机械陀螺仪隧道效应硅尖
- 基于近场静电纺丝的微/纳米结构直写技术被引量：19
- 2008年
- 基于近场静电纺丝（舾），研究了可用于柔性电子制造的微／纳米结构直写技术．构建了电极、收集板可协调运动的直写实验平台，分析了电纺丝参数对微／纳米结构直写过程的影响和直写参数间的匹配．通过缩短电纺丝距离实现对直写过程的控制，分别采用直径为25μm的实心探针针尖和内径为232μm的空心注射针尖作为电纺丝喷头，可有序地直写出直径为50—500nm的纳米纤维和线宽为1—8μm的微米结构．实验结果表明：微米结构线宽随收集板速度和PEO溶液浓度的变大而变大；直写工作电压随收集板运动速度的变大而减小，随电极至收集板距离的增加而变大．协调电极与收集板运动速度，平行直写微米结构间距可控制在100-180μm之间．
- 郑高峰王凌云孙道恒
- 直流电压下基于电液耦合动力学原理的微喷试验研究被引量：8
- 2010年
- 基于直流电压作用下的电液耦合微喷印系统,考察了溶液浓度和电压两个参数对喷印过程和沉积形态的影响。实验结果表明射流在收集板上沉积的宽度随溶液浓度增大而减小;浓度低时射流沉积为连续形态;浓度增大,射流沉积为液滴-细线相间或者液滴-卫星液滴相间的珠状结构;浓度增大至18%时,产生纳米纤维,直径600nm左右。对给定的EHD实验系统,仅当电压值在2.6kV～4.8kV范围内变化时可保证稳定喷射;且随着电压值增大,珠状结构的直径减小;电压值在该范围之外,无法实现稳定喷射。
- 黄永芳徐磊郑高峰刘志鹏孙道恒
- 关键词：直流电压纳米纤维
