天津市自然科学基金(013602011)
- 作品数：14 被引量：112H指数：6
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- 绘制硅单晶电阻率等值线的Mapping技术(英文)被引量：1
- 2008年
- 用斜置式四探针测定了硅单晶片(Ф75mm)上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.
- 孙以材潘国峰杨茂峰叶威张鹏
- 关键词：硅单晶
- 两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析
- 2004年
- 从理论上分析方形四探针和直线四探针薄层电阻测试方法中探针游移所造成的系统偏差,推导出计算游移偏差的公式,并作图展示探针游移后的电阻与理想值之比的分布情况,分析了两种四探针测试方法出现最大误差的情况。用方形四探针测试方法不仅比普通直线四探针测试方法所测量的微区小,而且方形四探针测量的游移偏差小于直线四探针测量所产生的偏差。经试验发现,实际测试过程中,方形四探针只要在合理压力范围内,探针游移完全在合理范围内,能够保证测试的准确性。
- 刘新福孙以材刘东升
- 关键词：薄层电阻
- 利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演被引量：21
- 2003年
- 薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已知的范德堡公式是隐函数 ,只见报道其显函数的近似表达式 ,精度低 ,未见到有精确的多项式拟合公式 .为此 ,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式 ,其精度可达到± 0 19% 。
- 王静孙以材刘新福
- 关键词：非线性反演
- 微区薄层电阻测试方法的研究被引量：3
- 2003年
- 对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
- 刘新福孙以材
- 关键词：微区薄层电阻
- 微区薄层电阻四探针测试仪及其应用被引量：16
- 2002年
- 用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。
- 孙以材刘新福高振斌孟庆浩孙冰
- 关键词：微区薄层电阻
- 基于射频模块的篮球比赛系统
- 2006年
- 介绍了一种利用射频模块进行数据传输的篮球比赛计时系统,给出了硬件电路和软件流程。它利用射频模块和编、解码芯片配合单片机实现较远距离的无线数据传输。该装置美观大方且易于现场安装,可以替代传统的利用钟表进行计时的方法,实现了篮球比赛计时系统的智能化,解决了利用有线传输中过长的传输线带来的安装困难等问题。
- 赵秋孙以材
- 关键词：射频模块单片机
- 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用被引量：70
- 2004年
- 对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考。
- 刘新福孙以材刘东升
- 关键词：四探针薄层电阻
- 用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻被引量：11
- 2004年
- 提出用改进的Rymaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法 ,从理论上推导出方形四探针产生游移时的Rymaszewski改进公式 ,讨论探针游移对测试结果的影响 .制定出可操作的测试方法 ,对实际样品进行测试验证 。
- 刘新福孙以材张艳辉陈志永
- 基于统计反演的硅片微区电阻率测试方法
- 2023年
- 提出了一种基于统计反演重建电阻率分布图像的硅片电阻率测试方法,该方法采用马尔科夫链蒙特卡洛(MCMC)方法求解电阻抗成像技术(EIT)的逆问题,可以避免确定性方法中迭代误差和分辨率低的问题。建立了一种基于MCMC方法的电阻率分布图像重建算法,搭建了电压数据采集系统以测量边缘电压。对比MCMC算法重建的硅片微区电阻率分布图像与4D-333A测试仪的测量结果,二者的电阻率分布情况呈现出相同的分布趋势。将采用MCMC算法得出的256个单元的数值与采用其他重建方法得出的数值、真实的电阻率进行对比,发现MCMC算法得到的数值与真实数值最接近的单元数最多,为88个,比其他重建方法更为准确。
- 边泽鹏刘新福
- 关键词：贝叶斯方法
- 微区电阻测试方法及新测试仪研制
- 2003年
- 文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机。
- 刘新福孙以材王静张艳辉
- 关键词：测试仪大规模集成电路
