山东省自然科学基金(ZR2010Q017)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- Al_2O_3衬底上Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜的外延生长与性能
- 2012年
- 以SrRuO3(SRO)作为缓冲层,利用脉冲激光沉积的方法,首次在蓝宝石(Al2O3)衬底上制备了PbZr0.52-Ti0.48O3(PZT)外延薄膜。利用X射线衍射分析得到了PZT薄膜与Al2O3衬底的外延关系,即(111)[110]PZT//(0001)[1010]Al2O3。所制备的PZT薄膜具有较强的铁电极化性能,饱和极化值达到138.3μC/cm2。同时,利用对电流-电压性质的测量研究了铁电极化的退反转现象。
- 郝兰众刘云杰
- 关键词：缓冲层铁电
- LaAlO_3顶层对Pb(Zr,Ti)O_3薄膜微结构和性能的影响
- 2012年
- 利用脉冲激光沉积(PLD)法,在LaAlO3(LAO)基片上外延生长了高质量的PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜。通过增加10nm厚的LAO顶层,所制备PZT薄膜的铁电剩余极化(Pr)由28.8μC/cm2增加为55.1μC/cm2。通过对微结构分析,表明薄膜电学性能的增强主要来源于LAO顶层对PZT薄膜表面形貌的优化。另外,与Pr不同,随LAO顶层厚度的增加,PZT薄膜的矫顽场单调增加。
- 郝兰众刘云杰朱俊张鹰
- 关键词：漏电流
