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国家自然科学基金(60376010)
作品数:
2
被引量:20
H指数:2
相关作者:
章壮健
张群
缪维娜
黄丽
李喜峰
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相关机构:
复旦大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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复旦大学
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张群
2篇
章壮健
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杨锡良
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真空科学与技...
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2008
1篇
2005
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高迁移率透明导电In_2O_3:Mo薄膜
被引量:14
2005年
用直流磁控溅射法成功制备了高价态差掺钼氧化铟(IMO)透明导电薄膜。研究了氧分压,基板温度以及溅射电流对IMO薄膜结构和性能的影响。获得的IMO薄膜的最低电阻率为3.65×10-4Ω·cm,载流子迁移率高达50cm2V-1s-1,可见光区域的平均透射率(含玻璃基底)高于80%。X ray衍射(XRD)研究表明IMO薄膜具有良好的结晶性。分析认为IMO薄膜的载流子迁移率主要受晶界散射的控制。
李喜峰
缪维娜
张群
黄丽
章壮健
华中一
关键词:
IN2O3
直流磁控溅射法
低电阻率
可见光区
氧分压
新型透明导电ZnO∶Mo薄膜
被引量:7
2008年
采用直流磁控反应溅射技术成功制备了新型ZnO∶Mo(ZMO)透明导电薄膜。研究了钼掺杂量和基片温度等参数对ZMO薄膜结构和光电性能的影响。结果表明,薄膜的结构和光电性能与钼含量以及基片温度有关。X光衍射图谱(XRD)显示薄膜具有六角纤锌矿结构,并且在基片温度为200℃,钼含量(Mo/Zn+Mo)为1.5wt%时薄膜具有较好的c轴取向。制备出的ZMO薄膜最低电阻率为1.97×10-3Ω.cm,相应载流子迁移率达37.0 cm2V-1s-1,载流子浓度为8.57×1019cm-3,在可见光区域的平均透射率达到80%左右。
王三坡
沈杰
章壮健
杨锡良
张群
关键词:
磁控溅射
透射率
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