北京市自然科学基金(3031001)
- 作品数：17 被引量：84H指数：6
- 相关作者：陈涛左铁钏姚李英刘世炳祁恒更多>>
- 相关机构：北京工业大学军事医学科学院中国科学院过程工程研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市科技新星计划更多>>
- 相关领域：电子电信生物学金属学及工艺理学更多>>
- 应用于准分子激光的透镜阵列均束器被引量：12
- 2005年
- 设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统。通过对 18 块 4 mm×40 mm的柱面透镜叠放,组成9×9级的透镜阵列,将光束分成81束,彼此独立传播,实现了对准分子激光原始光束分束、放大。随后利用收集透镜将每束光叠加在同一位置,得到了在13 mm×13 mm范围内能量均匀度误差小于±5.00的光强分布。克服了原始光斑内部能量分布不够均匀的缺点,达到了准分子激光掩模投影加工的光束质量要求。相比于激光直写的加工方式,提高了加工效率。
- 杜国军陈涛左铁钏
- 关键词：准分子激光积分透镜阵列掩膜
- 聚合酶链式反应微流控芯片的准分子激光制备和应用研究被引量：10
- 2006年
- 采用价格便宜的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替价格昂贵的硅或玻璃作为聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片的基片材料,采用柔性大且自动化程度高的准分子激光微加工方法代替加工工艺复杂的光刻化学腐蚀方法,在19kV和18mm/min的优化加工参数下,在48mm×67mm×1mm的PMMA基片上制备出20个循环的PCR微流控芯片.芯片微通道横截面呈梯形,底面光滑.微通道宽104μm,深56μm,长2060mm,加工耗时约110min.该芯片和相同尺寸的盖片在160N和105℃条件下通过热压经20min键合在一起,键合强度为0.85MPa.键合后的芯片和温控系统集成在一起,采用比例积分微分(PID)方法得到的控温精度为±0.2℃,采用红外热像仪得到的相邻温区间的温度梯度分别为16.5和22.2℃,最后利用该芯片在对170bp的DNA片段实现了体外扩增.
- 姚李英祁恒陈涛文思远伯晓晨陈苏红王升启左铁钏
- 关键词：PMMA准分子激光
- 激光制备PMMA基PCR微流控芯片的热压键合研究被引量：5
- 2006年
- MEMS技术的发展,使得PCR微流控芯片的制备成为了现实。本文采用波长248nm的准分子激光作为一种新型的微加工方法,在19KV电压和18mm/min的激光优化加工参数下,在40mm×63mm的PMMA基片上制备出了20个循环的PCR微流控芯片。芯片上微通道的宽为104μm,深为56μm,长为1040mm,芯片加工耗时57分钟。随后采用自己搭建的热压装置,定量讨论了热压键合的温度、压力和时间对芯片键合质量的影响,得出了PMMA基微流控芯片热压键合的最佳参数:95℃,160N,20min。并在该条件下成功地将PMMA基的20个循环的PCR微流控芯片和相同尺寸的盖片键合在一起,键合后的芯片具有良好的密封性,能够承受的最大压强为0.85Mpa,能满足进行PCR反应的要求。
- 姚李英张瑜陈涛王升启左铁钏
- 关键词：准分子激光高聚物热压键合PCR技术
- 新型无阀微泵扩张微流道中流体动力学特性的仿真分析被引量：6
- 2005年
- 对新型收缩/扩张型无阀微泵泵腔结构中扩张微流道内流体的流动特性进行CFD仿真分析,得到扩张角度、雷诺数(R e)等参数对微流道中流体阻力损失系数的影响.仿真结果显示,对于任一确定的扩张角度和雷诺数,都对应一个最小阻力损失系数,但对于不同的扩张角度,阻力损失系数随雷诺数的不同呈明显的非线性依赖特征;扩张角度较小时,阻力损失系数随雷诺数的增大而减小,而当扩张角度较大时,阻力损失系数随雷诺数的增大而增大.
- 王伟刘世炳陈涛左铁钏
- PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究
- 采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片.实验结果表明,采用准分子激光微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道,可以加工出结构复杂的微流控芯片.
- 姚李英张瑜刘保安陈涛刘世炳左铁钏
- 关键词：高聚物微加工技术微流控芯片
- 文献传递
- 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究
- 2007年
- 为了研究在准分子激光刻蚀聚合物的过程中避免经常往复更换不同大小而形状相同的掩模的实验操作,保证实验的连续性和结果的真实性和可靠性,在实验的加工系统中基于变焦距系统的原理采用引入一个变焦物镜代替原来系统中普通物镜的方法,取得了一个准分子激光刻蚀可变焦光路系统.采用ZEMAX软件设计一个可变焦物镜镜头并分析了它的成像质量.经过ZEMAX软件的模拟,结果表明,此变焦镜头成像质量基本达到要求,缩小倍率在0.15～0.24范围内可连续变化.因此,使用这个变焦物镜,在同样的实验条件下,可以采用同一片掩模而不再往复更换掩模就可蚀刻出大小不同的结构;同时由于不再经常需要中断实验过程,保证了实验结果的真实性.该技术在激光蚀刻中有很大的可行性.
- 钱晓峰陈涛祁恒
- 关键词：光线追迹准分子激光
- 采用三向光纤照明成像的三维微结构观测系统被引量：1
- 2004年
- 为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统。系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的实时调节。通过自主设计的机械结构将光源、光纤、耦合头以及显微镜连接为一整体,实现光束入射方向、入射角和入射距离的任意调节。与通常的底部透射光照明系统进行实验比较,成像质量显著提高,不仅可以清晰观察目标对像的表面结构,还能得到立体感强的三维图像。针对面阵CCD显微测量系统的标定和标定误差问题,提出了螺旋微缝标定法。将螺旋测微计两铁钻形成的微缝作为标定的样本,配以适当的观测手段和计算方法,有效地消除或减小了各种误差,提高了系统的标定精度。通过系统标定和测量比较,系统的标定精度达到±0.0015μm,测量精度达到±1μm。实验结果表明,螺旋微缝标定法可以基本满足CCD测量系统标定的要求。
- 张麟陈涛刘世炳左铁钏
- 关键词：微电机械系统照明电荷耦合器件显微测量
- 准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究被引量：6
- 2006年
- 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法。
- 钱晓峰陈涛郭商勇
- 关键词：生物芯片准分子激光蚀刻微加工
- 面向PCR微流控芯片的多通道温控系统被引量：1
- 2007年
- 基于PCR微流控芯片,研究和设计了一套多通道温度控制系统,实现了温控功能并应用于PCR扩增试验。系统由硬件电路搭建和控制软件编写共同实现。温度信号由AD590采集,经过CD4051选通,由TLC0832将模拟信号转换为数字信号,传送给AT89C2051。单片机根据负反馈算法对信号进行处理,得到控制指令,经过TLC5620得到模拟信号,控制驱动电路。利用汇编语言编写功能软件,包括A/D,D/A转换程序、跳转程序和系统闭环程序。通过自主设计的硬件电路和控制软件,实现了微型PCR微流控芯片的多通道温度控制系统。实验结果表明,系统符合PCR扩增原理的要求,升温迅速,控温准确,可用于PCR扩增试验。
- 刘勋姚李英张印春陈涛左铁钏
- 关键词：温度控制负反馈单片机
- 用于图像采集的照明质量评价
- 在以计算机视觉技术和光学显微技术为基础的微视觉测量系统中,为了提高成像质量和微视觉测量的准确程度,并使系统能够自动优化照明条件,建立了数字图像照明质量评价系统。在自主研制的微视觉测量系统中,应用照明质量评价系统进行评价,...
- 王桐陈涛张麟左铁钏刘世炳
- 关键词：微机电系统计算机视觉数字图像照明质量
- 文献传递
