上海市科学技术委员会资助项目(09511502400)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 相关作者：陈景东吴澄吕宝粮陈翔胡锐军更多>>
- 相关机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：医药卫生电子电信机械工程更多>>
- 柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究被引量：4
- 2011年
- 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求.
- 吴澄陈迪胡锐军陈景东陈翔王晓韡吕宝粮
- 关键词：柔性衬底脑电图
- 基于硅与非硅复合方法的异平面空心微针制作被引量：3
- 2011年
- 为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题,本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针.首先采用湿法刻蚀硅,得到280μm深的倒四棱锥锥坑;然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑,并通过曝光显影负胶形成微针的形貌;最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针.用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm,其针尖形状为三棱锥和四棱锥.通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系.用此方法加工出的微针具有锥形尖,改善了刺入皮肤的效果.
- 闫肖肖沈修成刘景全杨春生李以贵
- 关键词：SU-8经皮给药
