您的位置： 专家智库 > >

广西信息材料重点实验室主任基金(0710908-06-K)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：蒋爱华肖剑荣更多>>
相关机构：桂林理工大学桂林电子科技大学中南大学更多>>
发文基金：中南大学博士后科学基金广西信息材料重点实验室主任基金广西教育厅科研项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇退火
  • 1篇膜结构
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇光谱
  • 1篇RAMAN
  • 1篇FTIR

机构

  • 1篇桂林电子科技...
  • 1篇桂林理工大学
  • 1篇中南大学

作者

  • 1篇肖剑荣
  • 1篇蒋爱华

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究被引量：2
2010年
利用反应射频磁控溅射法,以单晶Si片为衬底,在不同功率下制备了氟化非晶碳膜样品,并进行了不同温度的退火处理。采用拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱和原子力显微镜对样品的结构进行了表征。通过谱线Lorentzian分峰拟合方法,分析比较了不同功率下制备的氟化非晶碳膜sp杂化结构,得到了薄膜生长过程功率控制与结构的关系,功率增大、退火温度升高,膜内sp2相对含量增加。退火温度达到350℃时,薄膜中石墨结构明显增加。
肖剑荣蒋爱华
关键词：拉曼光谱溅射功率退火
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0