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长江学者和创新团队发展计划(Irt0968)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：朱孔军孟庆华裘进浩董娜娜季宏丽更多>>
相关机构：南京航空航天大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”长江学者和创新团队发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压电
  • 1篇钛酸铅
  • 1篇锆钛酸铅
  • 1篇PZT薄膜

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇季宏丽
  • 1篇董娜娜
  • 1篇裘进浩
  • 1篇孟庆华
  • 1篇朱孔军

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
水热-溶胶凝胶法制备PZT薄膜被引量：2
2011年
采用水热-溶胶凝胶法制备了锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷薄膜。首先利用水热法处理Si基板,使之生成SiO2/Si层,然后采用旋涂法在处理好的Si基板上涂覆摩尔比r(Zr∶Ti)为52∶48的PZT前驱体溶胶。研究了基板处理方式、退火温度以及涂胶层数对PZT薄膜结晶性能、表面形貌及厚度的影响。结果表明:水热处理Si基板对PZT薄膜性能有很大提高;随着退火温度的提高,薄膜的结晶性提高,表面更加致密;200℃下水热处理Si基板16 h,最终退火温度为850℃的PZT薄膜结晶性及表面形态最好。
董娜娜朱孔军裘进浩孟庆华季宏丽
关键词：压电锆钛酸铅
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