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长江学者和创新团队发展计划(Irt0968)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
朱孔军
孟庆华
裘进浩
董娜娜
季宏丽
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相关机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
中国航空科学基金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
长江学者和创新团队发展计划
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相关领域:
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孟庆华
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朱孔军
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电子元件与材...
年份
1篇
2011
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水热-溶胶凝胶法制备PZT薄膜
被引量:2
2011年
采用水热-溶胶凝胶法制备了锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷薄膜。首先利用水热法处理Si基板,使之生成SiO2/Si层,然后采用旋涂法在处理好的Si基板上涂覆摩尔比r(Zr∶Ti)为52∶48的PZT前驱体溶胶。研究了基板处理方式、退火温度以及涂胶层数对PZT薄膜结晶性能、表面形貌及厚度的影响。结果表明:水热处理Si基板对PZT薄膜性能有很大提高;随着退火温度的提高,薄膜的结晶性提高,表面更加致密;200℃下水热处理Si基板16 h,最终退火温度为850℃的PZT薄膜结晶性及表面形态最好。
董娜娜
朱孔军
裘进浩
孟庆华
季宏丽
关键词:
压电
锆钛酸铅
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