国家自然科学基金(91023018)
- 作品数：6 被引量：8H指数：2
- 相关作者：曾永彬曲宁松朱荻吴修娟王玉峰更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏高校优势学科建设工程项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺航空宇航科学技术一般工业技术电子电信更多>>
- 纳米电解加工用碳纳米管工具电极制备关键技术
- 性能优良的纳米工具电极是进行纳米电解加工的必备条件,其特征尺寸直接影响纳米结构的最终尺寸。通过对电弧放电法和电阻接触法两种制备纳米电极的新方法的介绍,着重研究了电弧放电法制备碳纳米管工具电极时,不同钨针的有效放电电压控制...
- 曾永彬孟岭超曲宁松朱荻
- 关键词：碳纳米管电弧放电电场强度
- 文献传递
- 碳纳米管工具电极的制备被引量：2
- 2013年
- 纳米工具电极是进行纳米电解加工的必备条件,其特征尺寸直接影响纳米结构的最终尺寸.提出了利用电弧放电将碳纳米管束焊接在钨针尖上的纳米工具电极制备方法,并通过试验研究了钨针的针尖圆弧半径和放电电压对制备碳纳米管工具电极的影响.试验结果表明,不同尖端圆弧半径的钨针,所需有效放电电压不同,圆弧半径越小,有效放电电压越小,强电场分布越集中,越容易将碳纳米管束焊接在针尖的顶端;圆弧半径越大,强电场分布区域越大,越不容易控制碳纳米管束焊接的方向性.在针尖圆弧半径约为100 nm和300 nm的钨针上,放电电压分别为25 V和35 V时,成功制备出碳纳米管工具电极.
- 孟岭超曾永彬曲宁松吴修娟朱荻
- 关键词：碳纳米管电场强度
- 基于Ag纳米线的微纳电解加工研究
- 2014年
- 采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工,对其表面溅射金属Au。试验结果表明,当溅射层厚度为27 nm和55 nm时,溅射层不够致密,Ag纳米线仍会发生溶解;当溅射层厚度为310 nm时,过厚的溅射层使Ag纳米线发生弯曲,从而使Ag纳米线与扫描隧道显微镜探针尖端的结合力变小并发生脱落;当溅射层厚度为150 nm和240 nm时,Ag纳米线在电解加工中均能保持稳定。采用溅射层厚度为150 nm的Ag纳米线进行微纳电解加工。在0.1 mol/L的H2SO4电解液中,施加电压4 V、周期50 ns、脉宽6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,在高温合金试件表面成功加工出微纳沟槽,沟槽深约110 nm,入口最宽处约1μm。
- 吴修娟曾永彬曲宁松王玉峰朱荻
- 关键词：AG纳米线离子溅射
- 基于纳秒脉冲电源的微细电解对刀实验
- 针对纳米尺度工具电极在传统直流对刀方法中易产生变形、尖端易熔化等问题,探索了一种基于纳秒脉冲电源的对刀方法。介绍了该方法的原理,并进行了实验验证,用纳米尺度工具电极加工出了1μm的沟槽。
- 刘宇曲宁松曾永彬朱荻吴修娟
- 关键词：微细电解加工
- 文献传递
- 亚微米电解加工的试验研究被引量：3
- 2013年
- 为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4 V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30μm,深约80 nm,底部最窄处约为450 nm,入口最宽处约1μm.
- 吴修娟曲宁松曾永彬王玉峰朱荻
- 关键词：AG纳米线工具电极
- 基于电化学加工的微钠探针制备技术
- 2014年
- 提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的机理,并采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针,再通过动态液膜电化学加工方法,即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备出具有大长径比的探针。对动态液膜法的成形机理进行了阐述,通过试验分析得出加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比和平均直径的影响规律,并制备出长径比达70、平均直径为300 nm的大长径比探针。
- 王玉峰曾永彬曲宁松吴修娟朱荻
- 关键词：探针
- 提高UV-LIGA制备金微细零件的尺寸精度研究(英文)
- 2012年
- 在众多影响UV-LIGA(Ultra-violet lithography Galvanik abformung)技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中,SU-8胶溶胀性是最主要的。通常采用隔离带方法降低SU-8胶的溶胀性,以提高电铸微细零件的尺寸精度。由于贵重金属会沉积到隔离带内,造成了贵重金属的浪费,增加制造成本,因此该方法不适合贵重金属微细零件制造。针对隔离带方法的弊端,提出了半隔离带方法,在保证电铸微细金属零件尺寸精度的前提下,避免了贵重金属的浪费。另外,还采用电解液喷射方法实现了高电流密度电铸,缩短了电铸时间,进一步提高了电铸微细金属零件的尺寸精度。试验结果表明:采用半隔离带方法和高电流密度,可以有效提高金微细零件的尺寸精度,当电流密度提高到0.6A/dm2,金微细零件的尺寸精度可以达到5μm。
- 曲宁松苏兴李寒松曾永彬
- 关键词：尺寸精度
- 基于电化学加工的微钠探针制备技术
- 提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的加工机理,采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针。通过动态液膜电化学加工方法,即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备...
- 王玉峰曾永彬曲宁松吴修娟朱荻
- 关键词：探针
- 文献传递
- 碳纳米管工具电极的导电性能被引量：4
- 2014年
- 基于纳米试验系统研究了碳纳米管工具电极的在线制备和导电性能测试方法。首先利用电弧放电将碳纳米管焊接在钨针尖上,制备碳纳米管工具电极;然后在线测试碳纳米管工具电极的伏安特性,分析碳纳米管与钨针焊接前后电阻的变化。通过局部焦耳热法改善碳纳米管与钨针的接触特性,用Au离子溅射法降低碳纳米管工具电极的电阻,提高电极的整体导电性能。试验结果表明,碳纳米管与钨针焊接后,电路中的电极电阻明显降低,碳纳米管工具电极的电阻约为130kΩ,经过90s局部焦耳热处理后,电极电阻降低到55kΩ左右,比原电阻减小约60%,接触性能明显改善;再经过Au离子溅射处理后,电极电阻进一步降低到40kΩ左右,比原电阻减小约70%,从而显著提高了碳纳米管工具电极的导电性能。
- 孟岭超曾永彬曲宁松朱荻
- 关键词：伏安特性
