武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)
- 作品数：9 被引量：31H指数：4
- 相关作者：陈文元张卫平崔峰赵小林黄晓刚更多>>
- 相关机构：上海交通大学中国航天科技集团更多>>
- 发文基金：武器装备预研基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程航空宇航科学技术理学更多>>
- 微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究被引量：4
- 2008年
- 三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性,严重的将导致不能正常工作,通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计,能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试,测试前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。
- 凌灵陈文元李凯姜晓波
- 关键词：微加速度计单片机
- SU-8胶模去除技术被引量：8
- 2007年
- 对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去胶剥落的桩基形成技术。提出了一种与多层互连电路微制造兼容的金属桩基形成技术,并采用强酸氧化去胶方法在制作有互联电路及薄膜电极的基片上成功地集成了200μm厚的Ni结构。
- 崔峰靖向萌赵小林丁桂甫张卫平陈文元
- 关键词：微机电系统SU-8高深宽比桩基
- 基于DSP的悬浮转子微陀螺数字幅度解调被引量：1
- 2007年
- 在悬浮转子微陀螺中输出的角度检测信号为一经过幅度调制的调幅波形,为了使用数字信号处理器(DSP)读取调制波形中的低频有用信号,需要开发一种数字解调系统。介绍了一种能应用于悬浮转子微陀螺信号检测的基于DSP的数字滤波自相关算法及其实现,使用D/A和异步串行口将解调所得信号输出。使用经低频调制的20 kHz载波信号进行了实验。实验结果表明:该系统可响应的低频角度变化为25Hz,能够满足悬浮转子陀螺信号检测和后续控制的要求。
- 周海军黄晓刚张卫平陈文元
- 关键词：数字信号处理器微陀螺
- Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀被引量：5
- 2008年
- 为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。
- 崔峰肖奇军吴校生张卫平陈文元赵小林
- 关键词：湿法腐蚀掩膜凹坑电镀
- 基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计被引量：4
- 2007年
- 接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一。本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型,并结合Sigma-Delta技术的优点提出了一种新颖的闭环检测电路。该检测电路能够直接输出数字信号,系统稳定性好,对陀螺失效具有自检特性并且能够有效避免陀螺的锁住。与通常采用的调制解调方法相比,该检测电路大大节省了器件,因此非常适用于对微陀螺原型进行测试评估。对该检测电路的仿真结果表明,其灵敏度为2V/g,动态范围约为1g。
- 万明亮张卫平黄晓刚陈文元
- 关键词：SIGMA-DELTAMEMS微陀螺
- 静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩
- 2008年
- 针对工作于高真空密封腔中的静电悬浮MEMS陀螺微转子,为建立其旋转动力学模型,实现高精度恒速旋转控制,需要得到高努森数条件下的空气阻尼力矩特性。结合复杂结构的轮状扁平微转子,根据分子动理论和Christian模型,推导出压膜阻尼力矩特性;根据稀薄气体动力学,在考虑腔室内壁和转子表面具有不同切向动量适应系数的条件下,推导出滑膜阻尼力矩解析公式。以根据腔内空气流动特征进行的分区直接蒙特卡罗模拟(DSMC)结果为参考,总阻尼力矩系数的解析误差约为16%,表明解析模型具有较好的精度,对于高努森数条件下类似微器件的建模和系统设计具有较高的实用价值。
- 马高印陈文元崔峰张卫平王立奇
- 关键词：微陀螺
- 悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展被引量：6
- 2008年
- 分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。
- 张卫平陈文元赵小林吴校生崔峰刘武黄晓刚肖奇军马高印张忠榕
- 静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
- 2009年
- 微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。
- 马高印陈文元张卫平崔锋王立奇
- 关键词：微陀螺微位移电容检测
- 双定子静电微电机控制系统的信号检测研究被引量：4
- 2008年
- 介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法,它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要,其主要特点是采用互相关检测—锁定放大、DSP控制直接数字频率合成(DDS)产生正弦波,并通过实际正弦波发生电路和系统仿真验证其可行性,这些提供了解决微小电容检测在实际电路实现上的一些关键问题的办法,为实际电路参数选择提供重要参考。
- 张忠榕刘武张卫平陈文元
- 关键词：静电微电机直接数字频率合成
