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纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究被引量：5: 2008年; 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度，用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能．结果表明，以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷（187）为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷（APS）为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低，薄膜的最上层为DLC膜．在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数（0．117～0．137），在低载荷条件下，含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜，且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳；在高载荷条件下，硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能．; 程广贵丁建宁凌智勇坎标范真石超燕; 关键词：DLC膜偶联剂

NiCr/TiW薄膜的电接触性能研究: 为研究薄膜的电接触性能,用磁控溅射方法在硅表面制备NiCr/TiW多层膜,用配有ECR模块的纳米力学测试系统测试其力电耦合性能,分析了受力作用下薄膜材料的电学性能变化,实验表明,随加载载荷的变化,薄膜材料表现出压阻效应,...; 程广贵丁建宁坎标王君雄袁宁一; 关键词：压阻效应; 文献传递

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博士研究生创新基金(CX07B-03X)