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甘肃省自然科学基金(1014RJZA007)

作品数：2 被引量：10H指数：2
相关作者：王琼姜金龙黄浩郝俊英王善民更多>>
相关机构：中国科学院兰州理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金甘肃省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇钛硅
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
  • 1篇性能研究
  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇摩擦学
  • 1篇摩擦学性能
  • 1篇共掺
  • 1篇共掺杂
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇掺杂
  • 1篇沉积温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇兰州理工大学
  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇郝俊英
  • 2篇黄浩
  • 2篇姜金龙
  • 2篇王琼
  • 1篇冯旺军
  • 1篇魏智强
  • 1篇杨华
  • 1篇王善民
  • 1篇陈娣

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇摩擦学学报（...

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究被引量：4
2013年
采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备了钛硅多元掺杂的含氢类金刚石薄膜.在球-盘摩擦试验机上考察了不同气氛环境对薄膜摩擦学性能的影响.利用扫描电子显微电镜和拉曼光谱分析了磨损表面形貌和转移层结构,探讨了薄膜的摩擦磨损机理.结果表明:薄膜在真空和氮气环境下摩擦系数较小、磨损率低,表现为磨粒磨损;在氧气和高湿度大气环境下摩擦系数较大、磨损率高,表现为黏着磨损;在低湿度空气环境下薄膜摩擦系数最低,表现为磨粒磨损和黏着磨损混合磨损机理;转移层发生摩擦诱导石墨化和聚乙炔链CC键双氢化两种摩擦化学过程.
姜金龙黄浩陈娣王琼冯旺军郝俊英
关键词：类金刚石薄膜中频磁控溅射摩擦学性能
沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响被引量：6
2014年
采用中频磁控溅射Ti80Si20复合靶在单晶硅表面制备了共掺杂的类金刚石薄膜.研究了沉积温度对薄膜生长速率、化学成分、结构、表面性质和力学性能的影响.结果表明:随沉积温度升高,薄膜生长速率降低,薄膜Ti和Si原子浓度增加,C原子浓度降低;在高温下沉积的薄膜具有低sp3C含量、低表面接触角、低内应力和高的硬度与弹性模量.基于亚表层注入生长模型分析了沉积温度对薄膜生长和键合结构的影响,从薄膜生长机制和微观结构解释了表面性质和力学性能的变化.
姜金龙黄浩王琼王善民魏智强杨华郝俊英
关键词：类金刚石薄膜共掺杂沉积温度
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