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黑龙江省博士后科研启动基金(LBH-Z09219)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：乔英杰范茂军更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨工程大学更多>>
发文基金：黑龙江省博士后科研启动基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇微加工
  • 1篇脉冲加热
  • 1篇煤油
  • 1篇感器
  • 1篇AL
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研究

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇范茂军
  • 1篇乔英杰

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究被引量：1
2012年
基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体检测的二单元集成。传感器采用脉冲工作方式,工作周期为30 s,在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件。测试结果表明:煤油(标志物:癸烷)检测可实现体积分数(0～7000)×10-6范围,90%的吸附响应时间小于8s,脱附响应时间小于12s,传感器信号输出与煤油体积分数有对应的全对数线性关系。
张洪泉乔英杰范茂军
关键词：气体传感器煤油微加工脉冲加热
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