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“十一五”国家科技支撑计划(2006BAF06B06)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：陈朝晖罗志勇顾英姿更多>>
相关机构：中国计量科学研究院更多>>
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相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电传感器
  • 1篇压电传感
  • 1篇压电传感器
  • 1篇扫描式
  • 1篇相移
  • 1篇光学
  • 1篇光学设计
  • 1篇感器
  • 1篇标准具
  • 1篇测量方法
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国计量科学...

作者

  • 1篇顾英姿
  • 1篇罗志勇
  • 1篇陈朝晖

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种机械扫描式精密相移测长方法
2012年
以相移干涉测长为应用背景,提出了一种基于"机械扫描"的相移测长方法。利用超高弹性石英材料研制出了干涉测长所需的单体3路相移装置,并利用该相移装置建成了相移测长装置,成功地将位移传感器的量值在线溯源到光学频率标准,从而实现了对3路相移的准确测量。介绍了一种引入步长控制误差的"新五幅相移"实现相位解算方法,算法准确度达到0.01%。对不确定度的定量分析结果表明,基于该机械扫描式相移技术构建的绝对长度测量系统准确度可达0.5nm。
罗志勇顾英姿陈朝晖
关键词：光学设计压电传感器标准具
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共1页<1>
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