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国家教育部博士点基金(20112216110002)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：王作斌侯煜翁占坤胡贞刘晓刚更多>>
相关机构：长春理工大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇实时检测
  • 1篇特征尺寸
  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇干涉光刻
  • 1篇CMOS
  • 1篇成像

机构

  • 2篇长春理工大学

作者

  • 2篇王作斌
  • 1篇胡贞
  • 1篇宋正勋
  • 1篇翁占坤
  • 1篇李丽丽
  • 1篇侯煜
  • 1篇刘晓刚

传媒

  • 1篇长春理工大学...
  • 1篇中国科技论文

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
应用于大面积光刻的激光图案检测系统被引量：1
2015年
基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明,使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案。该方法提供了得到高分辨、无限焦深、大面积光刻的可能性。
侯煜胡贞王作斌翁占坤
关键词：激光干涉光刻
探针对原子力显微镜成像的影响
2014年
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的一个重要应用就是对样品表面的微纳米级尺寸特征进行成像,但在扫描成像的过程中,由于针尖的影响作用,使得扫描所获图像是原子力探针和样品共同作用的结果,而不是样品形貌的真实描述。本文通过用具有不同形状、尺寸针尖的探针对同一样品进行成像,将所得图像进行分析、对比,模拟和实验结果表明,为获得更准确的特征尺寸成像,对有不同特征尺寸的样品,需要选择适合的探针对其实施成像。
李丽丽宋正勋刘晓刚王作斌
关键词：原子力显微镜特征尺寸成像
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