国家高技术研究发展计划(2006AA04Z360)
- 作品数：6 被引量：46H指数：3
- 相关作者：赵小林戴旭涵王佩红鲁李乐丁桂甫更多>>
- 相关机构：上海交通大学安徽大学教育部更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家留学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器被引量：8
- 2008年
- 采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。
- 王佩红鲁李乐戴旭涵赵小林
- 关键词：微机电系统电磁式
- 锆钛酸铅压电陶瓷PZT7的形状记忆效应研究
- 2009年
- 提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应。用自制的Sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm。当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形-电场曲线呈现典型的"蝴蝶"形状。在外电场为0时,悬臂梁端部的变形为0。如果施加不对称的极化电压,悬臂梁端部的变形——电场曲线发生明显的变化。不同的反向极化电压使悬臂梁端部产生不同的变形,而且,电压和变形是一一对应的。因此,在外电场为零时,PZT7/Si悬臂梁可以具有多个不同的稳定位置,表现出明显的形状记忆效应。实验表明,对于长度为15.5mm的PZT7/Si悬臂梁而言,当施加的反向极化电压从120V回到0时,悬臂梁端部产生的变形最大,为68.5μm。
- 王佩红章文田中克彦戴旭涵赵小林
- 关键词：压电陶瓷形状记忆效应悬臂梁
- 微型电磁式振动能量采集器的研究进展被引量：33
- 2007年
- 随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国内外各研究小组研制的电磁式振动能量采集器的几何模型、结构参数、输出结果和技术特点,最后简单分析电磁式振动能量采集器面临的困难、挑战和发展趋势。
- 王佩红戴旭涵赵小林
- 关键词：微机电系统电磁式
- 一种新型MEMS电磁继电器的研究被引量：1
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。
- 刘亮赵小林戴旭涵鲁李乐丁桂甫
- 关键词：电磁驱动微继电器微电铸
- MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究被引量：2
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型。采用硅微细加工技术和微电铸技术成功地制作出了这种微驱动器,并对器件的性能进行了测试,测试结果表明,该模型能很好地计算驱动器的电磁力。
- 鲁李乐赵小林戴旭涵刘亮丁桂甫
- 关键词：电磁驱动
- 一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究被引量：4
- 2009年
- 介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。
- 张晓鹏戴旭涵苗小丹丁桂甫赵小林
- 关键词：微机电系统电磁驱动微电铸湿法腐蚀
