表面工程技术重点实验室基金(914C540107090C54)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
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- 相关机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
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- 硅碳氧薄膜光学性能研究被引量：4
- 2012年
- 硅碳氧（SiCO）薄膜是一种三元玻璃状化合物材料,具有热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高等特性,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜材料。本文采用射频磁控溅射技术在Si（100）及K9玻璃上制备了硅碳氧薄膜。利用椭圆偏振仪、紫外/可见/近红外光度计及X射线光电子能谱测试表征了薄膜的光学性能及薄膜组分。研究发现,通过改变基片温度、工作压强及溅射功率等工艺参数,所制备的硅碳氧薄膜均具有高折射率（大于1.80）,相比之下,K9玻璃基硅碳氧薄膜的折射率有着更大的变化范围（1.84~2.20）。通过对K9玻璃基硅碳氧薄膜的光学透射性能研究表明,以硅碳氧陶瓷作为溅射靶材,采用射频磁控溅射技术在K9玻璃基上可以制备出,在可见光及近红外区域有着较好光学透射性能,平均透过率能到达83%的硅碳氧薄膜。
- 李晨陈焘王多书张平
- 关键词：光学性能
