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山西省回国留学人员科研经费资助项目(2007-31)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
王俊文
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相关机构:
太原理工大学
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发文基金:
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1篇
2007
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RF-PCVD法制备纳米Al_2O_3粉体动力学模型
被引量:3
2007年
本文采用RF-PCVD法,分析了富氧高频等离子反应器内反应物AlCl3的高温氧化反应、产物Al2O3气相成核及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的主要步骤。采用Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了晶粒长大的动力学模型。模型分析表明:在富氧高频等离子反应器内,传递因素决定Al2O3纳米晶粒的最终粒径大小及其分布。在实验操作条件下,模型数值解与实验结果相接近,并对模型计算结果的偏大进行了初步分析。
王俊文
关键词:
高频等离子体
化学气相沉积
纳米粉体
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