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国家自然科学基金(50372063)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：王建文陈征李赟王玉霞何海平更多>>
相关机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇热解
  • 1篇热解制备
  • 1篇OCS
  • 1篇PS
  • 1篇SI(111...
  • 1篇层错

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇邹优鸣
  • 1篇何海平
  • 1篇王玉霞
  • 1篇李赟
  • 1篇陈征
  • 1篇王建文

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
低压Ar气氛下用PS/OCS/Si(111)叠层热解制备单晶4H-SiC薄膜及层错缺陷抑制机理
2006年
在一定压力的Ar气氛中对S i(111)衬底上的PS/OCS(硅的有机化合物)凝胶叠层进行热处理,制备出单晶4H-S iC薄膜。用XPS、XRD、TEM、TED和SEM研究了热处理温度和压力对薄膜结晶质量和晶型的影响。XPS分析显示薄膜中C/S i比为1.09。SEM分析表明薄膜的表面平整,S iC/S i(111)界面清晰、无层错缺陷形成。进一步讨论了层错缺陷形成及抑制的机理。
王玉霞李赟陈征何海平王建文邹优鸣
关键词：溶胶-凝胶
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共1页<1>
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